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Dispositifs expérimentaux
AFM
Un AFM de marque Axess Tech est localisé dans l’’équipe Plasma-Surface. De nombreuses autres analyses de surfaces sont disponibles au laboratoire (Raman, Infra-Rouge...) ou sur le site de l’Université.
LE NAUTILUS
Le Nautilus est un ensemble expérimental composé de quatre enceintes ultra-vide 2 sont équipées de techniques d’analyse de surfaces. la diffraction d’électrons lents la spectroscopie de pertes d’énergie à haute résolution la microscopie à effet tunnel 1 enceinte est équipée des dispositifs suivants un canon à ion une source d’hydrogène atomique à capillaire de tungstène chauffé à 2600K une source plasma radio-fréquence un système d’introduction rapide d’échantillons/pointes STM 1 enceinte est dédiée à (...)
CAMITER
Camiter est un dispositif expérimental composé de 3 enceintes ultra-vide interconnectées. La première enceinte est équipée d’un dispositif de désorption programmée en température (300K-1300K), d’un sas d’introduction rapide d’échantillons, et de dispositifs d’irradiation des échantillons (source atomique, canons à ions...) La deuxième enceinte constitue une chambre plasma RF équipée d’un porte substrat 4’’ polarisable et contrôlé en température (20-800°C) avec un sas d’introduction rapide. Cette enceinte (...)
PHISIS
Le dispositif expérimental PHISIS est dédié à l’étude des interactions plasma-surface. Il est constitué d’un réacteur plasma comportant une chambre source cylindrique et une chambre de diffusion sphérique. L’antenne entourant la chambre source est de type « antenne hélicon » et permet de générer des plasmas en mode capacitif, inductif ou hélicon. Cette antenne est reliée à une boit d’accord et un générateur RF 13.56 MHz. Le réacteur est équipé d’un porte échantillon chauffant (jusqu’à 750°C) et polarisable, (...)